中國航天科技集團(tuán)消息，1月12日，由中國航天科技集團(tuán)有限公司一院航天材料及工藝研究所制造的我國首臺半導(dǎo)體級大尺寸真空腔體順利通過驗收。真空腔體是半導(dǎo)體行業(yè)鍍膜設(shè)備的核心結(jié)構(gòu)件，所有的化學(xué)反應(yīng)過程均在腔體內(nèi)完成，對腔體的密封性、尺寸精度等具有較高的要求。該產(chǎn)品的用戶單位是面向全球高端CVD設(shè)備的制造商，其開發(fā)的AP-MOCVD常壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，可解決當(dāng)前國內(nèi)大功率激光器核心芯片氮化鎵鍍膜問題。（證券時報）